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采用Al/TaN叠层电极提高Si基Ge PIN光电探测器的性能

吴政 王尘 严光明 刘冠洲 李成 黄巍 赖虹凯 陈松岩

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采用Al/TaN叠层电极提高Si基Ge PIN光电探测器的性能

吴政, 王尘, 严光明, 刘冠洲, 李成, 黄巍, 赖虹凯, 陈松岩

Improvement on performance of Si-based Ge PIN photodetector with Al/TaN electrode for n-type Ge contact

Wu Zheng, Wang Chen, Yan Guang-Ming, Liu Guan-Zhou, Li Cheng, Huang Wei, Lai Hong-Kai, Chen Song-Yan
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-06-02
  • 修回日期:  2012-06-19
  • 刊出日期:  2012-09-05

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