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射频电感耦合夹层等离子体中的模式转换

杜寅昌 曹金祥 汪建 郑哲 刘宇 孟刚 任爱民 张生俊

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射频电感耦合夹层等离子体中的模式转换

杜寅昌, 曹金祥, 汪建, 郑哲, 刘宇, 孟刚, 任爱民, 张生俊

Mode transition of inductively coupled plasma in interlayer chamber

Du Yin-Chang, Cao Jin-Xiang, Wang Jian, Zheng Zhe, Liu Yu, Meng Guang, Ren Ai-Min, Zhang Sheng-Jun
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出版历程
  • 收稿日期:  2011-06-27
  • 修回日期:  2012-02-03

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