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掩膜板凸出环隔离压缩式纳米压印施压气体的研究

李天昊 郑国恒 刘超然 夏委委 李冬雪 段智勇

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掩膜板凸出环隔离压缩式纳米压印施压气体的研究

李天昊, 郑国恒, 刘超然, 夏委委, 李冬雪, 段智勇

Analysis of gas isolation by prominent O-ring on the mold in compressional gas cushion press nanoimprint lithography

Li Tian-Hao, Zheng Guo-Heng, Liu Chao-Ran, Xia Wei-Wei, Li Dong-Xue, Duan Zhi-Yong
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-08-29
  • 修回日期:  2012-10-25
  • 刊出日期:  2013-03-05

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