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非晶氧化钛薄膜形成过程中钛离子能量对表面结构影响的机理

陈仙 王炎武 王晓艳 安书董 王小波 赵玉清

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非晶氧化钛薄膜形成过程中钛离子能量对表面结构影响的机理

陈仙, 王炎武, 王晓艳, 安书董, 王小波, 赵玉清

Effect of titanium ion energy on surface structure during the amorphous titanium dioxide film deposition

Chen Xian, Wang Yan-Wu, Wang Xiao-Yan, An Shu-Dong, Wang Xiao-Bo, Zhao Yu-Qing
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-04-28
  • 修回日期:  2014-08-13
  • 刊出日期:  2014-12-05

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