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薄膜厚度对射频磁控溅射β-Ga2O3薄膜光电性能的影响*

李秀华 张敏

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薄膜厚度对射频磁控溅射β-Ga2O3薄膜光电性能的影响*

李秀华, 张敏

Effect of film thickness on photoelectric properties of β-Ga2O3 films by radio frequency magnetron sputtering*

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出版历程
  • 收稿日期:  2021-09-18
  • 上网日期:  2021-10-29

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