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脉冲高能量密度等离子体沉积(Ti, Al)N薄膜组织及其性能研究

刘元富 韩建民 张谷令 王久丽 陈光良 李雪明 冯文然 范松华 刘赤子 杨思泽

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脉冲高能量密度等离子体沉积(Ti, Al)N薄膜组织及其性能研究

刘元富, 韩建民, 张谷令, 王久丽, 陈光良, 李雪明, 冯文然, 范松华, 刘赤子, 杨思泽

Study on the microstructure and properties of (Ti, Al)N film deposited by pulsed high energy density plasma

Liu Yuan-Fu, Han Jian-Min, Zhang Gu-Ling, Wang Jiu-Li, Chen Guang-Liang, Li Xue-Ming, Feng Wen-Ran, Fan Song-Hua, Liu Chi-Zi, Yang Si-Ze
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-05-12
  • 修回日期:  2004-05-27
  • 刊出日期:  2005-03-17

脉冲高能量密度等离子体沉积(Ti, Al)N薄膜组织及其性能研究

  • 1. (1)北京交通大学机械与电子控制工程学院,北京 100044; (2)北京交通大学机械与电子控制工程学院,北京 100044;中国科学院物理研究所,北京 100080; (3)北京科技大学材料科学与工程学院,北京 100083; (4)中国科学院物理研究所,北京 100080
    基金项目: 国家高技术研究发展计划(批准号:2002A331020)和国家自然科学基金(批准号:50071068和10275088)资助的课题.

摘要: 利用脉冲高能量密度等离子体技术在室温条件下在45#钢基材表面沉积了高硬度耐腐蚀(Ti, Al)N薄膜. 利用扫描电子显微镜、X射线衍射、X射线光电子能谱、俄歇电子能谱分析了薄膜的显微组织.利用纳米压痕仪测试了薄膜的纳米硬度.测试了薄膜在05mol/L H2SO4水溶液中的耐蚀性. 测试结果表明:薄膜主要组成相为(Ti, Al)N,同时含有少量的AlN,薄膜的纳米硬度高达26 GPa,薄膜具有良好的耐蚀性,与1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢相比,耐蚀性提高了一个数量级.

English Abstract

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