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60MHz电容耦合等离子体中电子能量分布函数特性研究

孙 恺 辛 煜 黄晓江 袁强华 宁兆元

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60MHz电容耦合等离子体中电子能量分布函数特性研究

孙 恺, 辛 煜, 黄晓江, 袁强华, 宁兆元

Characteristics of electron energy distribution function of capacitively coupled plasma excited by 60MHz RF source

Sun Kai, Xin Yu, Huang Xiao-Jiang, Yuan Qiang-Hua, Ning Zhao-Yuan
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-01-14
  • 修回日期:  2008-02-27
  • 刊出日期:  2008-05-05

60MHz电容耦合等离子体中电子能量分布函数特性研究

  • 1. 苏州大学物理科学与技术学院,江苏省薄膜材料重点实验室,苏州 215006
    基金项目: 国家自然科学基金(批准号:10635010,10775103)资助的课题.

摘要: 甚高频(频率大于30 MHz)耦合放电源由于能产生大面积高密度的等离子体而受到了人们的广泛关注. 采用电流、电压探针以及朗缪尔探针诊断技术对60MHz射频激发产生的容性耦合等离子体的放电特性及电子行为进行了研究. 实验结果表明,等离子体的等效电阻/电容随着射频输入功率的增加而减小/增加;等离子体中电子行为不仅依赖于射频输入功率,还与放电气压密切相关;放电气压的增加导致电子能量概率分布函数(EEPF)从双温Maxwellian分布向Druyvesteyn分布转变,而且转变气压远低于文献所报道的数值,这主要是由于在60MHz容性耦合等离子体中电子反弹共振加热效率大为降低.

English Abstract

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