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60MHz电容耦合等离子体中电子能量分布函数特性研究

孙 恺 辛 煜 黄晓江 袁强华 宁兆元

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60MHz电容耦合等离子体中电子能量分布函数特性研究

孙 恺, 辛 煜, 黄晓江, 袁强华, 宁兆元

Characteristics of electron energy distribution function of capacitively coupled plasma excited by 60MHz RF source

Sun Kai, Xin Yu, Huang Xiao-Jiang, Yuan Qiang-Hua, Ning Zhao-Yuan
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-01-14
  • 修回日期:  2008-02-27
  • 刊出日期:  2008-05-05

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