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Mo/Si多层膜在质子辐照下反射率的变化

范鲜红 李 敏 尼启良 刘世界 王晓光 陈 波

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Mo/Si多层膜在质子辐照下反射率的变化

范鲜红, 李 敏, 尼启良, 刘世界, 王晓光, 陈 波

Change of reflectivity of Mo/Si multilayer irradiated by proton

Fan Xian-Hong, Li Min, Ni Qi-Liang, Liu Shi-Jie, Wang Xiao-Guang, Chen Bo
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-11-13
  • 修回日期:  2008-03-31
  • 刊出日期:  2008-05-05

Mo/Si多层膜在质子辐照下反射率的变化

  • 1. (1)中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,长春 130033; (2)中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,长春 130033;中国科学院研究生院,北京 100049
    基金项目: 国家自然科学基金(批准号:60677043,40774098)资助的课题.

摘要: 为了检验应用在极紫外波段空间太阳望远镜上Mo/Si多层膜反射镜在空间辐射环境下反射率的变化情况, 模拟了部分空间太阳望远镜运行轨道的辐射环境, 利用不同能量和剂量的质子对Mo/Si多层膜反射镜进行辐照实验.辐照前后反射率测量结果显示,由于带电粒子的辐照损伤,质子辐照会使Mo/Si多层膜反射镜的反射率降低,且质子能量越低、剂量越大,对多层膜的反射率影响越明显. 当质子能量E=160keV,剂量=6×1011/mm2时,反射率降低4.1%;能量E=100keV,剂量=6×1011/mm2时, 反射率降低5.7%;能量E=50keV,剂量=8×1012/mm2时,反射率降低10.4%. 用原子力显微镜测量辐照后Mo/Si多层膜反射镜的表面粗糙度比辐照前明显增加,致使散射光线能量逐渐增大并最终导致反射率的降低.

English Abstract

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