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两步广义相移干涉术的光学实验验证

孟祥锋 蔡履中 王玉荣 彭翔

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两步广义相移干涉术的光学实验验证

孟祥锋, 蔡履中, 王玉荣, 彭翔

Optical experimental verification of two-step generalized phase-shifting interferometry

Meng Xiang-Feng, Cai Lü-Zhong, Wang Yu-Rong, Peng Xiang
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-08-01
  • 修回日期:  2008-09-12
  • 刊出日期:  2009-03-20

两步广义相移干涉术的光学实验验证

  • 1. (1)山东大学光学系,济南 250100; (2)深圳大学光电工程学院,深圳 518060
    基金项目: 国家自然科学基金(批准号60775021,60777008),中国博士后科学基金,深圳市科技计划非共识技术创新项目(批准号:200734)和中科院微系统与信息技术研究所资助的课题.

摘要: 提出了一种基于两步广义相移干涉术的波前再现技术以及基于衍射场统计特性的未知相移值提取算法,并且进行了光学实验验证.该方法中可仅利用两幅干涉图及一次不需精确预设的未知相移,参照物光光强和参考光光强,即可通过计算提取真实的相移量,进而恢复出物波波前复振幅,而无需借助傅里叶谱分析或数字滤波等操作.在光学实验中,对借助于空间光调制器(SLM)的间接输入和三维漫反射物体直接输入两种情况进行了详细地研究,得到的光学实验结果验证了所提方案的有效性和可行性.

English Abstract

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