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斜入射离子束辅助沉积对类金刚石薄膜结构影响的分子动力学模拟

开花 李运超 郭德成 李双 李之杰

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斜入射离子束辅助沉积对类金刚石薄膜结构影响的分子动力学模拟

开花, 李运超, 郭德成, 李双, 李之杰

Molecular dynamics simulation of the structure characteristic of diamond-like carbon films influence by oblique incidence ion-beam-assisted deposition

Kai Hua, Li Yun-Chao, Guo De-Cheng, Li Shuang, Li Zhi-Jie
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-02-17
  • 修回日期:  2008-06-10
  • 刊出日期:  2009-07-20

斜入射离子束辅助沉积对类金刚石薄膜结构影响的分子动力学模拟

  • 1. 内蒙古民族大学物理与电子信息学院,通辽 028043
    基金项目: 内蒙古自治区教育厅科研基金(批准号:NJ04062)和内蒙古民族大学博士启动基金(批准号:BS183)资助的课题.

摘要: 采用分子动力学(MD)模拟方法,从原子尺度上研究了离子束辅助沉积(IBAD)类金刚石(DLC)薄膜过程中离子束入射角对薄膜结构的影响.重点讨论了不同的离子束入射角所对应的薄膜表面模型,平均密度和sp3键含量.结果表明,离子束斜入射加强了入射原子的水平动能,从而加强了原子水平迁移;Ar离子斜入射时C原子迁移率均比垂直入射大,薄膜密度和sp3键含量都比垂直入射小.不同的离子束入射角随着到达比和入射能的变化,对薄膜结构的影响不同.离子束斜入射时可以得到不同结构的膜.

English Abstract

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