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钛-硅系快速热退火固相反应机制的研究

陈存礼 李建年 华文玉

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钛-硅系快速热退火固相反应机制的研究

陈存礼, 李建年, 华文玉

INVESTIGATION OF MECHANISM FOR SOLID PHASE REACTION BY RAPID THERMAL ANNEALING IN Ti-Si SYSTEM

CHEN CUN-LI, LI JIAN-NIAN, HUA WEN-YU
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出版历程
  • 收稿日期:  1989-09-14
  • 刊出日期:  2005-06-17

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