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簿膜结构分析中的低角X射线衍射方法

邵建达 范正修 殷功杰 袁利祥

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簿膜结构分析中的低角X射线衍射方法

邵建达, 范正修, 殷功杰, 袁利祥

SMALL-ANGLE X-RAY DIFFRACTION IN ANALYSES OF THE STRUCTURE OF COATINGS

SHAO JIAN-DA, FAN ZHENG-XIU, YIN GONG-JIE, YUAN LI-XIANG
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出版历程
  • 收稿日期:  1993-08-23
  • 刊出日期:  1994-03-05

簿膜结构分析中的低角X射线衍射方法

  • 1. 中国科学院上海光学精密机械研究所

摘要: 利用带折射修正的布喇格衍射定律和薄膜光学理论分析了低角X射线衍射谱中出现的一系列现象,导出了多层膜周期厚度和周期中不同材料间的配比率的计算公式,对多层膜的低角X射线衍射谱中主峰间的次峰现象作出了解释,并对低角X射线衍射测量单层膜厚度进行分析,给出了精确的测厚公式。

English Abstract

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