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高气压直流辉光CH4/H2等离子体的气相过程诊断

郑仕健 丁芳 谢新华 汤中亮 张一川 李唤 杨宽 朱晓东

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高气压直流辉光CH4/H2等离子体的气相过程诊断

郑仕健, 丁芳, 谢新华, 汤中亮, 张一川, 李唤, 杨宽, 朱晓东

A diagnosis of gas-phase processes in a high pressure DC CH4/H2 plasma

Zheng Shi-Jian, Ding Fang, Xie Xin-Hua, Tang Zhong-Liang, Zhang Yi-Chuan, Li Huan, Yang Kuan, Zhu Xiao-Dong
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-03-14
  • 修回日期:  2013-04-16
  • 刊出日期:  2013-08-05

高气压直流辉光CH4/H2等离子体的气相过程诊断

  • 1. 中国科学技术大学近代物理系, 中国科学院基础等离子体物理重点实验室, 合肥 230026
    基金项目: 国家自然科学基金(批准号: 11075158)和国家自然科学基金国家基础科学人才培养基金(批准号: J1103207)资助的课题.

摘要: 对高气压(约100 Torr) 直流辉光碳氢等离子体的气相过程进行了光谱和质谱原位诊断. 在高气压下, 等离子体不同区域光发射特性存在明显差异. 正柱区存在着以C2和CH为主的多个带状谱和分立谱线, 阳极区粒子发射谱线明显减少, 而在阴极区则出现大量复杂的光谱成分, 表明高气压情形下等离子体与阴极间强烈的相互作用将导致复杂的原子分子过程. 从低气压到高气压演变过程中, 电子激发温度降低而气体分子转动温度升高. 在高气压下, 高甲烷浓度导致C2, C2H2及C2H4增多而C2H6减少. 表明在高气压条件下, 气体温度对气相过程的影响作用显著增强.

English Abstract

参考文献 (12)

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