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正常态金属与氧化物高温超导薄膜界面扩散特性分析

康晋锋 陈新 王佑祥 韩汝琦 熊光成 连贵君 李杰 吴思诚

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正常态金属与氧化物高温超导薄膜界面扩散特性分析

康晋锋, 陈新, 王佑祥, 韩汝琦, 熊光成, 连贵君, 李杰, 吴思诚

DIFFERENT INTERDIFFUSION CHARACTERISTICS BETWEEN Ag AND Al/YBa_2Cu_3O_(7-x) CONTACT INTERFACE

KANG JIN-FENG, CHEN XIN, WANG YOU-XIANG, HAN RU-QI, XIONG GUANG-CHENG, LIAN GUI-JUN, LI JIE, WU SI-CHENG
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出版历程
  • 收稿日期:  1994-09-20
  • 刊出日期:  1995-11-20

正常态金属与氧化物高温超导薄膜界面扩散特性分析

  • 1. (1)北京大学微电子学研究所,北京100871; (2)北京大学物理系,北京100871; (3)中国科学院物理研究所和半导体研究所表面物理国家重点实验室,北京100080
    基金项目: 国家自然科学基金;;国防科技预研基金

摘要: 利用二次离子质谱(SIMS)技术,分析了Ag和A1与YBa_2Cu_3O_(7-x)(YBCO)超导薄膜接触界面互扩散.结果显示,它们有不同的互扩散特征.利用SIMS的分析结果,可以很好地理解经高温热处理后,Ag/YBCO和A1/YBCO样品具有不同界面电学性质的原因.

English Abstract

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