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原子层沉积方法制备核-壳型纳米材料研究

李勇 李惠琪 夏洋 刘邦武

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原子层沉积方法制备核-壳型纳米材料研究

李勇, 李惠琪, 夏洋, 刘邦武

Study on atomic layer deposition preparation of core-shell structured nanometer materials

Li Yong, Li Hui-Qi, Xia Yang, Liu Bang-Wu
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-05-09
  • 修回日期:  2013-05-28
  • 刊出日期:  2013-10-05

原子层沉积方法制备核-壳型纳米材料研究

  • 1. 山东科技大学, 材料科学与工程学院, 青岛 266590;
  • 2. 中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室, 北京 100029
    基金项目: 国家自然科学基金(批准号:61106060);中国科学院知识创新工程重大项目(批准号:Y2YF028001)和国家高技术研究发展计划(批准号:2012AA052401)资助的课题.

摘要: 采用原子层沉积方法在碳黑纳米颗粒表面分别沉积Al2O3, ZnO, TiO2和Pt, 成功制备出核-壳型纳米材料. 通过高分辨率透射电子显微镜、X射线光电子能谱仪、 能谱仪对材料的表面形貌、晶体结构、薄膜成分进行了表征和分析. 结果表明, 原子层沉积方法是制备核壳型纳米材料的理想方法. 此外, 还分析了采用原子层沉积方法沉积不同材料, 所生长的薄膜材料有单晶、多晶、非晶等多种存在形式的形成原因.

English Abstract

参考文献 (15)

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