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纳米硅薄膜退火特性

余明斌 何宇亮 刘洪涛 罗晋生

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纳米硅薄膜退火特性

余明斌, 何宇亮, 刘洪涛, 罗晋生

Yu Ming-Bin, He Yu-Liang, Liu Hong-Tao, Luo Jin-Sheng
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出版历程
  • 收稿日期:  1995-03-25
  • 刊出日期:  1995-02-05

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