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高温下金属薄膜生长初期的模拟研究

吴锋民 施建青 吴自勤

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高温下金属薄膜生长初期的模拟研究

吴锋民, 施建青, 吴自勤

SIMULATION OF THE INITIAL GROWTH OF METAL THIN FILMS AT HIGH TEMPERATURE

WU FENG-MIN, SHI JIAN-QING, WU ZI-QIN
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-12-07
  • 修回日期:  2001-03-12
  • 刊出日期:  2001-04-05

高温下金属薄膜生长初期的模拟研究

  • 1. (1)浙江工业大学科学研究中心,杭州310014;浙江工业大学应用物理系,杭州310014; (2)浙江工业大学应用物理系,杭州310014; (3)中国科学技术大学天文与应用物理系,合肥230026
    基金项目: 浙江省自然科学基金(编号:198034);浙江工业大学科学研究中心资助的课题.

摘要: 采用实际的生长模型和物理参量,用Monte Carlo方法对高温下金属薄膜的生长过程进行了模拟研究.综合考虑了原子沉积、扩散、成核、生长和扩散原子的再蒸发、原子沿岛周界扩散和岛的合并等众多过程后,模拟得到与实验结果相当一致的薄膜生长形貌及其相应的定量结果.通过动态统计薄膜生长过程中的岛数目及薄膜生长率,得到实验中不易直接获得的高温下薄膜生长的许多细节,如岛数目和薄膜生长率随表面温度、覆盖度变化的详细情况等

English Abstract

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