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离子注入GaN的拉曼散射研究

张纪才 戴伦 秦国刚 应丽贞 赵新生

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离子注入GaN的拉曼散射研究

张纪才, 戴伦, 秦国刚, 应丽贞, 赵新生

Zhang Ji-Cai, Dai Lun, Qin Guo-Gang, Ying Li-Zhen, Zhao Xin-Sheng
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-07-03
  • 修回日期:  2001-08-28
  • 刊出日期:  2005-04-03

离子注入GaN的拉曼散射研究

  • 1. (1)北京大学分子动态与稳态结构国家重点实验室,化学与分子工程学院物理化学研究所,北京100871; (2)北京大学物理学院,北京100871
    基金项目: 国家自然科学基金 (批准号 :6 0 0 76 0 0 3)资助的课题~~

摘要: 研究了离子注入前后GaN的拉曼散射光谱,特别是其中几个在各种离子注入后都存在的拉曼散射峰,如298,362和661cm-1峰的性质,峰值强度随注入元素原子量、注入剂量和退火温度的变化关系.上述三个拉曼散射峰的强度都随注入元素原子量的增加而降低.当注入剂量增大时,362和661cm-1峰值强度减少,而298cm-1峰值强度却增大.随退火温度的升高,这三个拉曼散射峰的强度先增加后降低.对所观察到的实验现象和这三个峰的起源进行了分析和讨论.

English Abstract

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