溶胶-凝胶VO2薄膜转换特性研究

袁宁一; 李金华; 林成鲁

doi:10.7498/aps.51.852

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利用溶胶凝胶法在SiO2Si衬底上沉积高取向的V2O5薄膜,在压强低于2Pa,温度高于400℃的条件下,对V2O5薄膜进行真空烘烤,获得了电阻率变化3个数量级以上、弛豫宽度为62℃的VO2多晶薄膜.以X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)图和电阻率转换特性等实验结果为依据,详细分析了溶胶凝胶薄膜在真空烘烤时从V2O5向VO2的转化,它经历了从VnO2n+1(n=2,3,4,6)到VO2的过程.实验证明,根据选择合适的成膜热处理条件和真空烘烤条件是实现溶胶凝胶V2O5结构向VO2结构成功转换的关键

关键词:
溶胶-凝胶法氧化钒薄膜 VO2膜转换特性
Abstract
Keywords:
作者及机构信息
袁宁一²,

李金华¹,

林成鲁³

(1)江苏石油化工学院信息科学系功能材料实验室,常州213016; (2)江苏石油化工学院信息科学系功能材料实验室,常州213016中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050; (3)中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050

基金项目: 中国科学院上海冶金研究所离子束开放实验室资助的课题~~
Authors and contacts
Yuan Ning-Yi²,

Li Jin-Hua¹,

Lin Cheng-Lu³

(1)江苏石油化工学院信息科学系功能材料实验室,常州213016; (2)江苏石油化工学院信息科学系功能材料实验室,常州213016中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050; (3)中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050
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