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溶胶-凝胶法制备BaTiO3/SrTiO3多层膜的介电增强效应

物理学报, 2002, 51(5): 1139-1143.
DOI: 10.7498/aps.51.1139
CSTR: 32037.14.aps.51.1139

Acta Phys. Sin., 2002, 51(5): 1139-1143.
DOI: 10.7498/aps.51.1139
CSTR: 32037.14.aps.51.1139
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  • 摘要

    采用溶胶凝胶法,在PtTiSiO2Si衬底上逐层制备了BaTiO3SrTiO3多层膜.从多层膜的XRD图可看出明显的双峰,分别对应为BaTiO3和SrTiO3的特征峰,表明样品已形成了多层膜结构.与同厚度的Ba05Sr05TiO3单层膜比较,BaTiO3SrTiO3多层膜的介电系数得到了明显的增强,在频率为10kHz时,周期为66nm的BaTiO3SrTiO3多层膜相对于同厚度的Ba05Sr05TiO3薄膜的介电系数从245增强到595,而损耗依然保持较低,分别为0029和0033.研究同时表明,BaTi

     

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