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银和铜膜中异常晶粒生长和织构变化的实验研究

张建民 徐可为

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银和铜膜中异常晶粒生长和织构变化的实验研究

张建民, 徐可为

Investigation of abnormal grain growth andtexture change in Ag and Cu films

Zhang Jian-Min, Xu Ke-Wei
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出版历程
  • 收稿日期:  2002-01-25
  • 修回日期:  2002-05-29
  • 刊出日期:  2005-04-03

银和铜膜中异常晶粒生长和织构变化的实验研究

  • 1. (1)陕西师范大学物理学与信息技术学院,西安 710062;西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安 710049; (2)西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安 710049
    基金项目: 国家自然科学基金重点项目(批准号:59931010)和国家自然科学基金(批准号:50271038)资助的课题

摘要: 用透射电子显微镜(TEM)和x射线衍射(XRD)方法对经300℃,2h退火的Ag和Cu自由膜和Si基体上的Ag和Cu附着膜的异常晶粒生长和织构变化进行了实验研究.XRD分析表明:Ag和Cu沉积膜均有(111)和(100)择优取向.但经退火处理后,Ag和Cu自由膜的(111)织构稍有加强.相反,Si基体上的Ag和Cu附着膜的(100)和(110)织构明显加强,同时用TEM在Cu附着膜中观察到了两个(110)和四个(211)取向的异常大晶粒.根据表面能和应变能的各向异性对实验结果进行了分析.

English Abstract

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