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硅基两维光子晶体的制备和光子带隙特性

周 梅 陈效双 徐 靖 陆 卫

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硅基两维光子晶体的制备和光子带隙特性

周 梅, 陈效双, 徐 靖, 陆 卫

Fabrication and photonic band gap property of the two-dimensional square lattice based on silicon

Zhou Mei, Chen Xiao-Shuang, Xu Jing, Lu Wei
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-12-27
  • 修回日期:  2004-02-06
  • 刊出日期:  2004-05-05

硅基两维光子晶体的制备和光子带隙特性

  • 1. 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海 200083
    基金项目: 国家重点基础研究发展规划(973)(批准号:2001CB61040),中国科学院“百 人计划”基金(批准号:200012),国家自然科学基金重点项目(批准号:10234040)和上海科 学技术委员会重点基金项目(批准号:02DJ14066)资助的课题

摘要: 利用反应离子束刻蚀设备制备了硅基的两维空气柱光子晶体,并用红外显微镜测试了样品的 反射谱. 理论上用时域有限差分(FDTD)方法计算了样品的光子带隙,从测试结果看光子带隙 和理论计算的光子带隙符合得很好. 

English Abstract

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