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磷通过热生长二氧化硅层在硅中的扩散

陈辰嘉 杨澄清 黄亨吉

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磷通过热生长二氧化硅层在硅中的扩散

陈辰嘉, 杨澄清, 黄亨吉

DIFFUSION OF PHOSPHORUS INTO SILICON THROUGH SILICON DIOXIDE FILM GROWN BY THERMAL OXIDATION

CHEN CHEN-CHIA, YOUNG CHENG-CHING, HUANG HENG-CHI
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出版历程
  • 收稿日期:  1963-02-19
  • 刊出日期:  2005-08-05

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