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Si-SiO2膜的椭圆偏振光谱

莫党 陈树光 余玉贞 黄炳忠

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Si-SiO2膜的椭圆偏振光谱

莫党, 陈树光, 余玉贞, 黄炳忠

ELLIPSOMETRIC SPECTRA OF SiO2 FILMS ON SILICON

MO DANG, CHEN SHU-GUANG, YU YU-ZHEN, HUANG BING-ZHONG
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出版历程
  • 收稿日期:  1979-08-06
  • 刊出日期:  2005-07-29

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