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精确测量双层复合膜厚度的物理原理——用PCSA型光学系统处理四相体系

林理彬 田景文 谢建华

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精确测量双层复合膜厚度的物理原理——用PCSA型光学系统处理四相体系

林理彬, 田景文, 谢建华

THE PRINCIPLE OF ACCURATE MEASUREMENT OF THICKNESS OF COMPOUND THIN FILMS

LIN LI-BIN, TIAN JING-WEN, XIE JIAN-HUA
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出版历程
  • 收稿日期:  1980-09-05
  • 刊出日期:  2005-07-27

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