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Monte Carlo模拟计算应用于微区薄膜厚度测定

何延才 黄月鸿 孙荆 陈裕三

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Monte Carlo模拟计算应用于微区薄膜厚度测定

何延才, 黄月鸿, 孙荆, 陈裕三

MONTE CARLO CALCULATION ON THE MEASUREMENT OF THICKNESS OF THIN FILMS IN MICRO-DOMAIN

HE YAN-CAI, HUANG YUE-HONG, SUN JING, CHEN YU-SAN
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出版历程
  • 收稿日期:  1981-01-12
  • 刊出日期:  1982-01-05

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