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磁场-微波等离子体与大面积金刚石薄膜

宋汝安 程先安 周忠毅

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磁场-微波等离子体与大面积金刚石薄膜

宋汝安, 程先安, 周忠毅

MAGNETIC FIELD ASSISTED MICROWAVE PLASMA AND LARGE AREA DIAMOND FILM DEPOSITION

SONG RU-AN, CHENG XIAN-AN, ZHOU ZHONG-YI
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出版历程
  • 收稿日期:  1989-12-16
  • 刊出日期:  1990-05-05

磁场-微波等离子体与大面积金刚石薄膜

  • 1. (1)北京航空航天大学应用数理系,北京,100083; (2)北京计算机学院,北京,100044; (3)中国科学院电子学研究所,北京,100080

摘要: 在磁场辅助下电子回旋共振(ECR)效应在大的空间范围形成高密度的等离子体,为大面积金刚石薄膜的淀积提供有利条件,以CH4-H2为原料气体,在Si基片上,在比其他制备方法更低的压强(3Torr附近)下已制备出直径约为5cm的金刚石薄膜,从空间等离子体范围来看且有可能达更大的面积,在分析等离子体发射光谱的基础上,对0.5到50Torr压强的金刚石气相生长条件作了讨论。

English Abstract

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