搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

多成分靶优先溅射的蒙特-卡罗计算

潘正瑛 陈建新 吴士明 霍裕昆

引用本文:
Citation:

多成分靶优先溅射的蒙特-卡罗计算

潘正瑛, 陈建新, 吴士明, 霍裕昆

MONTE CARLO CALCULATION OF PREFERENTIAL SPUTTE-RING IN MULTI-COMPONENT TARGET

PAN ZHENG-YING, CHEN JIAN-XIN, WU SHI-MING, HUO YU-KUN
PDF
导出引用
  • 基于两体碰撞近似,本文用蒙特-卡罗方法研究离子轰击多成分靶引起的溅射。计算了1keV,10keV的氦离子和氖离子入射引起多成分、无定型靶表面总溅射产额和部分溅射产额;溅射粒子的能谱、角分布和深度来源分布。并计算了择优溅射引起材料表面组分相对浓度的变化。结果还表明,离子轰击多成分靶时,碰撞效应足以引起优先溅射,它是造成靶表面各种成分相对浓度变化的重要因素。
    Based upon the binary collision approximation (BCA), the Monte Carlo methods are employed to study sputtering of multi-component amorphous targets. Total and partial sputtering yields, energy and angular distribution and the escape depth distribution of sputtered particles are given. The changes of surface concentrations are also studied The results indicate that the collisional effect may account for the preferential sputtering, which plays an important role in surface composition changes due to ion bombardment.
    • 基金项目: 863高技术科学基金资助的课题
计量
  • 文章访问数:  5947
  • PDF下载量:  570
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  1989-03-17
  • 刊出日期:  1990-01-05

/

返回文章
返回