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合金在离子择优溅射中的表面元素局域富集效应

王震遐 潘冀生 章骥平 陶振兰

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合金在离子择优溅射中的表面元素局域富集效应

王震遐, 潘冀生, 章骥平, 陶振兰

EFFECT OF SURFACE LOCAL ENRICHMENT ON PREFEREN-TIAL SPUTTERIONG OF ALLOY

WANG ZHEN-XIA, PAN JI-SHENG, ZHANG JI-PING, TAO ZHEN-LAN
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出版历程
  • 收稿日期:  1991-11-11
  • 刊出日期:  1992-05-05

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