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GaN异质外延的离子化氮源方法

贺仲卿 丁训民 侯晓远 王迅 沈孝良

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GaN异质外延的离子化氮源方法

贺仲卿, 丁训民, 侯晓远, 王迅, 沈孝良

HETEROEPITAXY OF GaN BY USING AN IONIZED N SOURCE

HE ZHONG-QING, DING XUN-MIN, HOU XIAO-YUAN, WANG XUN, SHEN XIAO-LIANG
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出版历程
  • 收稿日期:  1993-08-09
  • 刊出日期:  1994-07-20

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