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等离子体化学气相沉积的实验与理论研究

魏合林 刘祖黎

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等离子体化学气相沉积的实验与理论研究

魏合林, 刘祖黎

Wei He-Lin, Liu Zu-Li
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出版历程
  • 收稿日期:  1994-05-26
  • 刊出日期:  1995-04-05

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