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DFT方法研究掺杂氮化硅对SONOS器件保持性能的作用

房少华 程秀兰 黄 晔 顾怀怀

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DFT方法研究掺杂氮化硅对SONOS器件保持性能的作用

房少华, 程秀兰, 黄 晔, 顾怀怀

Investigating the effect of doping amorphous silicon nitride on retention characteristics of SONOS device by DFT calculation

Fang Shao-Hua, Cheng Xiu-Lan, Huang Ye, Gu Huai-Huai
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-12-27
  • 修回日期:  2007-03-06
  • 刊出日期:  2007-11-20

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