搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

甚高频等离子体增强化学气相沉积大面积平行板电极间真空电势差分布研究

葛 洪 张晓丹 岳 强 赵 静 赵 颖

引用本文:
Citation:

甚高频等离子体增强化学气相沉积大面积平行板电极间真空电势差分布研究

葛 洪, 张晓丹, 岳 强, 赵 静, 赵 颖

Study of space voltage distribution between large-area parallel-plate electrodes for very high frequency plasma enhanced chemical vapor deposition

Ge Hong, Zhang Xiao-Dan, Yue Qiang, Zhao Jing, Zhao Ying
PDF
导出引用
计量
  • 文章访问数:  7645
  • PDF下载量:  1374
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2007-09-12
  • 修回日期:  2008-03-06
  • 刊出日期:  2008-04-05

/

返回文章
返回