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单晶硅微纳构件加工表面性能的时变性研究

胡兴雷 孙雅洲 梁迎春 陈家轩

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单晶硅微纳构件加工表面性能的时变性研究

胡兴雷, 孙雅洲, 梁迎春, 陈家轩

Performance evolution process of machined surface of monocrystalline silicon micro/nanostructures

Hu Xing-Lei, Sun Ya-Zhou, Liang Ying-Chun, Chen Jia-Xuan
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-06-20
  • 修回日期:  2013-08-27
  • 刊出日期:  2013-11-05

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