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TaN/TiN和NbN/TiN纳米结构多层膜超硬效应及超硬机理研究

喻利花 董师润 许俊华 李戈扬

引用本文:
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TaN/TiN和NbN/TiN纳米结构多层膜超硬效应及超硬机理研究

喻利花, 董师润, 许俊华, 李戈扬

Superhardness effect of TaN/TiN and NbN/TiN nanostructure multilayers and its mechanism

Yu Li-Hua, Dong Shi-Run, Xu Jun-Hua, Li Ge-Yang
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-01-16
  • 修回日期:  2008-04-28
  • 刊出日期:  2008-11-20

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