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H2, He混合稀释生长微晶硅锗薄膜

张丽平 张建军 张 鑫 尚泽仁 胡增鑫 张亚萍 耿新华 赵 颖

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H2, He混合稀释生长微晶硅锗薄膜

张丽平, 张建军, 张 鑫, 尚泽仁, 胡增鑫, 张亚萍, 耿新华, 赵 颖

Investigation of microcrystalline silicon germanium prepared by hydrogen and helium gas mixture diluted VHFPA-RTCVD

Zhang Li-Ping, Zhang Jian-Jun, Zhang Xin, Shang Ze-Ren, Hu Zeng-Xin, Zhang Ya-Ping, Geng Xin-Hua, Zhao Ying
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-01-29
  • 修回日期:  2008-04-25
  • 刊出日期:  2008-11-20

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