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栅控横向PNP双极晶体管辐照感生电荷的定量分离

席善斌 陆妩 任迪远 周东 文林 孙静 吴雪

栅控横向PNP双极晶体管辐照感生电荷的定量分离

席善斌, 陆妩, 任迪远, 周东, 文林, 孙静, 吴雪
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-04-19
  • 修回日期:  2012-06-20
  • 刊出日期:  2012-12-05

栅控横向PNP双极晶体管辐照感生电荷的定量分离

  • 1. 中国科学院新疆理化技术研究所, 乌鲁木齐 830011;
  • 2. 新疆电子信息材料与器件重点实验室, 乌鲁木齐 830011;
  • 3. 中国科学院研究生院, 北京 100049
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号: 10975182)资助的课题.

摘要: 设计并制作了一种栅控横向PNP双极晶体管测试结构,在常规横向PNP双极晶体管基区表面氧化层上制作了一栅电极,利用栅扫描法,通过扫描栅极所加电压,获得了基极电流随栅极电压的变化特性. 理论推导和数学计算获得了氧化物陷阱电荷和界面陷阱电荷的定量变化,分离出栅控横向PNP双极晶体管在辐照及其室温退火过程中感生的缺陷.对设计的晶体管测试结构和采用的测试方法做了具体介绍.

English Abstract

参考文献 (18)

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