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ZnO薄膜/金刚石在不同激励条件下声表面波特性的计算与分析

钱莉荣 杨保和

ZnO薄膜/金刚石在不同激励条件下声表面波特性的计算与分析

钱莉荣, 杨保和
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  • 本文首先以刚度矩阵法为基础, 给出了ZnO薄膜/金刚石在四种不同激励条件下的有效介电常数计算公式. 然后以此为工具, 分别计算了多晶ZnO(002) 薄膜/多晶金刚石和单晶ZnO(002) 薄膜/多晶金刚石的声表面波特性, 并根据计算结果及设计制作声表面波器件的要求, 对ZnO膜厚的选择进行了详细地分析. 最后讨论了ZnO/金刚石/Si复合晶片可以忽略Si衬底对声表面特性影响时对金刚石膜厚的要求.
    • 基金项目: 国家高技术研究发展计划 (批准号: 2013AA030801)、国家自然科学基金(批准号: 50972105)、天津市科技支撑计划重点项目 (批准号: 10ZCKFGX01200)和天津市科技计划重点项目 (批准号: 10SYSYJC27700) 资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-01-08
  • 修回日期:  2013-02-22
  • 刊出日期:  2013-06-05

ZnO薄膜/金刚石在不同激励条件下声表面波特性的计算与分析

  • 1. 天津大学精密仪器与光电子工程学院, 天津 300072;
  • 2. 天津理工大学电子信息工程学院,天津市薄膜电子与通信器件重点实验室, 天津 300384
    基金项目: 

    国家高技术研究发展计划 (批准号: 2013AA030801)、国家自然科学基金(批准号: 50972105)、天津市科技支撑计划重点项目 (批准号: 10ZCKFGX01200)和天津市科技计划重点项目 (批准号: 10SYSYJC27700) 资助的课题.

摘要: 本文首先以刚度矩阵法为基础, 给出了ZnO薄膜/金刚石在四种不同激励条件下的有效介电常数计算公式. 然后以此为工具, 分别计算了多晶ZnO(002) 薄膜/多晶金刚石和单晶ZnO(002) 薄膜/多晶金刚石的声表面波特性, 并根据计算结果及设计制作声表面波器件的要求, 对ZnO膜厚的选择进行了详细地分析. 最后讨论了ZnO/金刚石/Si复合晶片可以忽略Si衬底对声表面特性影响时对金刚石膜厚的要求.

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参考文献 (35)

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