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La0.5Sr0.5CoO3薄膜的外延生长及其机理研究

王忠烈 赵清太 熊光成 范守善 林揆训 李美亚

La0.5Sr0.5CoO3薄膜的外延生长及其机理研究

王忠烈, 赵清太, 熊光成, 范守善, 林揆训, 李美亚
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出版历程
  • 收稿日期:  1998-05-14
  • 修回日期:  1998-06-29
  • 刊出日期:  1999-01-20

La0.5Sr0.5CoO3薄膜的外延生长及其机理研究

  • 1. (1)北京大学微电子研究所,北京 100871; (2)北京大学物理系,北京 100871; (3)清华大学物理系,北京 100084; (4)汕头大学科学院材料研究所,汕头 515063; (5)汕头大学科学院材料研究所,汕头 515063;北京大学物理系,北京 100871
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:19574003)资助的课题.

摘要: 利用脉冲激光制膜法,在多种衬底和温度条件下,系统研究了La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)薄膜的结构和外延生长特性,在LaAlO3,SrTiO3和MgO衬底上实现了LSCO薄膜的外延生长.外延生长的薄膜具有低的电阻率和金属性导电特征.研究表明,外延生长的最佳温度范围为700—800℃,最佳衬底为LaAlO3.并着重探讨了衬底材料和淀积温度等多种因素对LSCO薄膜的生长与性

English Abstract

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