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用离子束增强沉积从V2O5粉末制备高热电阻温度系数VO_2薄膜
李金华 , 袁宁一 , 陈王丽华 , 林成鲁
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(1)江苏石油化工学院信息科学系,常州213016)2;香港理工大学应用物理系及材料研究中心,香港,九龙)3;中国科学院上海冶金研究所离子束开放实验室,上海200050; (2)江苏石油化工学院信息科学系,常州213016)2;香港理工大学应用物理系及材料研究中心,香港,九龙)4;中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050; (3)香港理工大学应用物理系及材料研究中心,香港,九龙; (4)中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050)
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