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基于槽形函数拟合的刻划光栅衍射特性分析方法

巴音贺希格 朱洪春

基于槽形函数拟合的刻划光栅衍射特性分析方法

巴音贺希格, 朱洪春
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  • 作为对光栅刻划工艺的理论指导,提出了一种基于槽形函数拟合的机械刻划光栅衍射特性分析方法,解决了高刻线密度光栅衍射效率测量值与理论值偏差较大的问题.以刻线密度为1200l/mm的紫外光栅为例,对光栅主截面上的实际槽形纵横坐标扫描取值,进而拟合出槽形函数,经理论计算找到了导致衍射效率偏低的原因,并通过改进工艺,使光栅衍射效率提高了约20%.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:60478034),中国科学院“优秀博士学位论文、院长奖获得者科研启动专项资金”和“十一五”国家科技支撑计划重大项目(批准号:2006BAK03A02)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-08-30
  • 修回日期:  2006-11-09
  • 刊出日期:  2007-07-20

基于槽形函数拟合的刻划光栅衍射特性分析方法

  • 1. (1)中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春 130033; (2)中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春 130033;中国科学院研究生院,北京 100049
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:60478034),中国科学院“优秀博士学位论文、院长奖获得者科研启动专项资金”和“十一五”国家科技支撑计划重大项目(批准号:2006BAK03A02)资助的课题.

摘要: 作为对光栅刻划工艺的理论指导,提出了一种基于槽形函数拟合的机械刻划光栅衍射特性分析方法,解决了高刻线密度光栅衍射效率测量值与理论值偏差较大的问题.以刻线密度为1200l/mm的紫外光栅为例,对光栅主截面上的实际槽形纵横坐标扫描取值,进而拟合出槽形函数,经理论计算找到了导致衍射效率偏低的原因,并通过改进工艺,使光栅衍射效率提高了约20%.

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