多源感应耦合等离子体的产生及等离子体诊断
物理学报
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物理学报  2006, Vol. 55 Issue (7): 3494-3500
流体、等离子体和放电 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
多源感应耦合等离子体的产生及等离子体诊断
辛 煜, 狄小莲, 虞一青, 宁兆元
苏州大学物理科学与技术学院,江苏省薄膜材料重点实验室,苏州 215006
Generation of multi-source inductively coupled plasma and its diagnostics
Xin Yu, Di Xiao-Lian, Yu Yi-Qing, Ning Zhao-Yuan
苏州大学物理科学与技术学院,江苏省薄膜材料重点实验室,苏州 215006

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