GaN MMIC中SiN介质MIM电容的可靠性
物理学报
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物理学报  2012, Vol. 61 Issue (17): 177302     doi:10.7498/aps.61.177302
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GaN MMIC中SiN介质MIM电容的可靠性
王鑫华, 王建辉, 庞磊, 陈晓娟, 袁婷婷, 罗卫军, 刘新宇
中国科学院微电子研究所, 微电子器件与集成技术重点实验室, 北京 100029
Reliability of SiN-based MIM capacitors in GaN MMIC
Wang Xin-Hua, Wang Jian-Hui, Pang Lei, Chen Xiao-Juan, Yuan Ting-Ting, Luo Wei-Jun, Liu Xin-Yu
Key Laboratory of Microelectronics Device & Integrated Technology, Institute of microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China

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