基于三维元胞模型的刻蚀工艺表面演化方法
物理学报
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物理学报  2013, Vol. 62 Issue (10): 108201     doi:10.7498/aps.62.108201
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基于三维元胞模型的刻蚀工艺表面演化方法
郑树琳, 宋亦旭, 孙晓民
清华大学计算机科学与技术系, 智能技术与系统国家重点实验室, 北京 100084
A three-dimensional surface evolution algorithm based on cellular model for etching process
Zheng Shu-Lin, Song Yi-Xu, Sun Xiao-Min
Department of Computer Science and Technology, Tsinghua University, State Key Laboratory of Intelligent Technology and Systems, Beijing 100084, China

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