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悬浮型微波共振探针在电负性容性耦合等离子体中电子密度的测量

邹帅 唐中华 吉亮亮 苏晓东 辛煜

悬浮型微波共振探针在电负性容性耦合等离子体中电子密度的测量

邹帅, 唐中华, 吉亮亮, 苏晓东, 辛煜
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  • 本文首先利用悬浮型微波共振探针测量了Ar等离子体的电子密度,并与朗缪尔双探针的测量结果进行了比较,表明了微波共振探针在低密度等离子体测量的可行性.对40.68 MHz单射频容性耦合Ar/SF6和SF6/O2等离子体的测量结果表明:电负性气体SF6掺入Ar等离子体显著降低了等离子体电子密度,但随着增加SF6的流量,电子密度表现为缓慢下降;而O2掺入SF6等离子体中,电子密度则随着O2流量的增加表现为持续的下降.另外,40.68 MHz/13.56 MHz双频激发的SF6/O2容性耦合离子体的电子密度并不随低频功率的变化而变化.本文对上述的实验现象进行了初步的解释.
    • 基金项目: 江苏省前瞻性产学研联合研究项目(批准号:BY2010125)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2011-06-07
  • 修回日期:  2012-04-05
  • 刊出日期:  2012-04-05

悬浮型微波共振探针在电负性容性耦合等离子体中电子密度的测量

  • 1. 苏州大学物理科学与技术学院, 江苏省薄膜材料重点实验室, 苏州 215006
    基金项目: 

    江苏省前瞻性产学研联合研究项目(批准号:BY2010125)资助的课题.

摘要: 本文首先利用悬浮型微波共振探针测量了Ar等离子体的电子密度,并与朗缪尔双探针的测量结果进行了比较,表明了微波共振探针在低密度等离子体测量的可行性.对40.68 MHz单射频容性耦合Ar/SF6和SF6/O2等离子体的测量结果表明:电负性气体SF6掺入Ar等离子体显著降低了等离子体电子密度,但随着增加SF6的流量,电子密度表现为缓慢下降;而O2掺入SF6等离子体中,电子密度则随着O2流量的增加表现为持续的下降.另外,40.68 MHz/13.56 MHz双频激发的SF6/O2容性耦合离子体的电子密度并不随低频功率的变化而变化.本文对上述的实验现象进行了初步的解释.

English Abstract

参考文献 (34)

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