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氦对铜钨纳米多层膜界面稳定性的影响

刘望 邬琦琦 陈顺礼 朱敬军 安竹 汪渊

氦对铜钨纳米多层膜界面稳定性的影响

刘望, 邬琦琦, 陈顺礼, 朱敬军, 安竹, 汪渊
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  • 采用射频磁控溅射方法,分别在纯Ar和Ar, He混合气氛下制备了多个不同调制周期的Cu/W纳米多层膜. 利用增强质子背散射(EPBS)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)分别对Cu/W多层膜中He含量、 截面形貌和相结构进行了分析.结果表明:多层膜的界面稳定性是耐氦损伤的前提和保证. 在适当的调制周期下,纳米多层膜能有抑制氦泡成核及长大的能力.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号: 51171124, 50771069); 四川省科技支撑计划基金(批准号: 2008FZ0002); 教育部新世纪人才基金(批准号: NCET-08-0380)和金属材料强度国家重点实验室开放基金 (批准号: 201011006)资助的课题.
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    Muhlratzer A, Zeilinger H, Esser H G 1984 Nucl. Technol. 66 570

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    Zhou X S, Long X G, Zhang L, Peng S M, Luo S Z 2010 J. Nucl. Mater. 396 225

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    Chen J C, Pete J 2000 Ceram. Int. 26 514

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出版历程
  • 收稿日期:  2011-12-28
  • 修回日期:  2012-02-16
  • 刊出日期:  2012-09-05

氦对铜钨纳米多层膜界面稳定性的影响

  • 1. 四川大学原子核科学技术研究所, 教育部辐射物理及技术重点实验室, 成都 610064
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号: 51171124, 50771069)

    四川省科技支撑计划基金(批准号: 2008FZ0002)

    教育部新世纪人才基金(批准号: NCET-08-0380)和金属材料强度国家重点实验室开放基金 (批准号: 201011006)资助的课题.

摘要: 采用射频磁控溅射方法,分别在纯Ar和Ar, He混合气氛下制备了多个不同调制周期的Cu/W纳米多层膜. 利用增强质子背散射(EPBS)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)分别对Cu/W多层膜中He含量、 截面形貌和相结构进行了分析.结果表明:多层膜的界面稳定性是耐氦损伤的前提和保证. 在适当的调制周期下,纳米多层膜能有抑制氦泡成核及长大的能力.

English Abstract

参考文献 (24)

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