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调制激光致硅晶圆载流子辐射扫描成像试验研究

刘俊岩 宋鹏 秦雷 王飞 王扬

调制激光致硅晶圆载流子辐射扫描成像试验研究

刘俊岩, 宋鹏, 秦雷, 王飞, 王扬
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  • 建立了调制激光诱发硅晶圆少数载流子密度波一维模型, 仿真分析了少数载流子输运参数对调制激光诱发载流子辐射信号频域响应的影响. 利用调制激光诱发载流子辐射扫描成像系统对含有表面划痕的硅晶圆进行了扫描成像试验研究. 通过少数载流子密度波模型与多参数拟合方法反求得到了扫描区域的输运参数二维分布图. 该方法得到的少数载流子寿命与利用传统光电导方法测量的少数载流子寿命结果相符; 分析了划痕对载流子输运参数造成的影响, 与光电导方法比较, 该方法可以测量不同位置的全部载流子输运参数且分辨率高.
    [1]

    Fujihira C, Morin M, Hashizume H, Friedt J, Nakai Y, Hirose M 1993 J. Appl. Phys. 32 1362

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    Sinton R A, Cuevas A 1996 Appl. Phys. Lett. 69 2510

    [3]

    Trupke T, Bardos R A, Schubert M C, Warta W 2006 Appl. Phys. Lett. 89 044107

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    Zhang X R, Li B C, Liu X M 2008 Acta Phys. Sin. 57 7316 (in Chinese) [张希仁, 李斌成, 刘显明 2008 物理学报 57 7316]

    [5]

    Mandelis A, Batista J, Shaughnessy D 2003 Phys. Rev. B 67 205208

    [6]

    Li B C, Shaughnessy D, Mandelis A, Batista J 2004 J. Appl. Phys. 95 7832

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    Li B C, Mandelis A, Shaughnessy D, Batista J, Garcia J 2004 J. Appl. Phys. 96 186

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    Shaughnessy D, Mandelis A 2006 J. Electrochem. Soc. 153 G283

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    Liu X M, Li B C, Huang Q P 2010 Chin. Phys. B 19 097201

    [10]

    Sun Q M, Melnikov A, Mandelis A 2012 Appl. Phys. Lett. 101 242107

    [11]

    Ren S D, Li B C, Gao L F, Wang Q 2013 Chin. Phys. B 22 057202

    [12]

    Mandelis A 2001 Diffusion-wave Fields: Mathematical Methods and Green Functions (New York: Springer) p588

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    Fujihira C, Morin M, Hashizume H, Friedt J, Nakai Y, Hirose M 1993 J. Appl. Phys. 32 1362

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    Mandelis A 2001 Diffusion-wave Fields: Mathematical Methods and Green Functions (New York: Springer) p588

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出版历程
  • 收稿日期:  2014-10-29
  • 修回日期:  2014-12-04
  • 刊出日期:  2015-04-05

调制激光致硅晶圆载流子辐射扫描成像试验研究

  • 1. 哈尔滨工业大学机电工程学院, 哈尔滨 150001

摘要: 建立了调制激光诱发硅晶圆少数载流子密度波一维模型, 仿真分析了少数载流子输运参数对调制激光诱发载流子辐射信号频域响应的影响. 利用调制激光诱发载流子辐射扫描成像系统对含有表面划痕的硅晶圆进行了扫描成像试验研究. 通过少数载流子密度波模型与多参数拟合方法反求得到了扫描区域的输运参数二维分布图. 该方法得到的少数载流子寿命与利用传统光电导方法测量的少数载流子寿命结果相符; 分析了划痕对载流子输运参数造成的影响, 与光电导方法比较, 该方法可以测量不同位置的全部载流子输运参数且分辨率高.

English Abstract

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