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表面预处理对石墨烯上范德瓦耳斯外延生长GaN材料的影响

王波 房玉龙 尹甲运 刘庆彬 张志荣 郭艳敏 李佳 芦伟立 冯志红

表面预处理对石墨烯上范德瓦耳斯外延生长GaN材料的影响

王波, 房玉龙, 尹甲运, 刘庆彬, 张志荣, 郭艳敏, 李佳, 芦伟立, 冯志红
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  • 基于范德瓦耳斯外延生长的氮化镓/石墨烯材料异质生长界面仅靠较弱的范德瓦耳斯力束缚,具有低位错、易剥离等优势,近年来引起了人们的广泛关注.采用NH3/H2混合气体对石墨烯表面进行预处理,研究了不同NH3/H2比对石墨烯表面形貌、拉曼散射的影响,探讨了石墨烯在NH3和H2混合气氛下的表面预处理机制,最后在石墨烯上外延生长了1.6 μm厚的GaN薄膜材料.实验结果表明:石墨烯中褶皱处的C原子更容易与气体发生刻蚀反应,刻蚀方向沿着褶皱进行;适当NH3/H2比的混合气体对石墨烯进行表面预处理可有效改善石墨烯上GaN材料的晶体质量.本研究提供了一种可有效提高GaN晶体质量的石墨烯表面预处理方法,可为进一步研究二维材料上高质量的GaN外延生长提供参考.
      通信作者: 房玉龙, yvloong@163.com
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出版历程
  • 收稿日期:  2017-05-17
  • 修回日期:  2017-07-19
  • 刊出日期:  2017-12-20

表面预处理对石墨烯上范德瓦耳斯外延生长GaN材料的影响

  • 1. 河北半导体研究所, 专用集成电路国家级重点实验室, 石家庄 050051
  • 通信作者: 房玉龙, yvloong@163.com

摘要: 基于范德瓦耳斯外延生长的氮化镓/石墨烯材料异质生长界面仅靠较弱的范德瓦耳斯力束缚,具有低位错、易剥离等优势,近年来引起了人们的广泛关注.采用NH3/H2混合气体对石墨烯表面进行预处理,研究了不同NH3/H2比对石墨烯表面形貌、拉曼散射的影响,探讨了石墨烯在NH3和H2混合气氛下的表面预处理机制,最后在石墨烯上外延生长了1.6 μm厚的GaN薄膜材料.实验结果表明:石墨烯中褶皱处的C原子更容易与气体发生刻蚀反应,刻蚀方向沿着褶皱进行;适当NH3/H2比的混合气体对石墨烯进行表面预处理可有效改善石墨烯上GaN材料的晶体质量.本研究提供了一种可有效提高GaN晶体质量的石墨烯表面预处理方法,可为进一步研究二维材料上高质量的GaN外延生长提供参考.

English Abstract

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