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测量半导体材料电阻率的四探针公式的普遍形式

陈存礼

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测量半导体材料电阻率的四探针公式的普遍形式

陈存礼

GENERAL EQUATION OF FOUR PROBES METHOD FOR RESISTIVITY MEASUREMENT OF SEMICONDUCTOR MATERIALS

CHEN CUN-LI
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  • 测量电阻率的四探针法公式中,要求是点接触而且探针的排列有一定的形状。实际上,接触总有一定的大小。本文考虑到接触面积大小的影响,并让四根探针排列成任意形状,导出了测量电阻率和薄层电阻的关系式。而直线四探针、方形四探针只不过是本公式的两个特例。
    The equation of four probes method for resistivity measurement requires point contacts and a definite configuration of probes array. In fact, the contacts are always with definite dimension. In this article, we drive the equations of measuring resistivity and surface sheet resistance, taking into account the contact dimension and putting the location of the four probes arbitrary. The in-line four probes and the square array four probes are two specific examples for the equations.
  • [1] 邓珊珊, 宋平, 刘潇贺, 姚森, 赵谦毅. 吉帕级单轴应力下Mn3Sn单晶的磁化率增强. 物理学报, 2024, 0(0): . doi: 10.7498/aps.73.20240287
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出版历程
  • 收稿日期:  1984-10-29
  • 刊出日期:  2005-03-31

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