有丢失物缺陷的铜互连线中位寿命的定量研究
物理学报
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物理学报  2009, Vol. 58 Issue (11): 7716-7721
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有丢失物缺陷的铜互连线中位寿命的定量研究
周文, 刘红侠
西安电子科技大学微电子学院,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室,西安 710071
Quantitative analysis on median-time-to-fail of copper interconnect with lose object defects
Zhou Wen, Liu Hong-Xia
西安电子科技大学微电子学院,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室,西安 710071

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